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Flege, Stefan ; Hatada, Ruriko ; Jantsen, Gennadi ; Walbert, Torsten ; Ensinger, Wolfgang ; Baba, Koumei ; Morimura, Takao ; Muench, Falk :
Nanoparticles as a Metal Source in Plasma Processes.
[Online-Edition: https://doi.org/10.14723/tmrsj.42.31]
In: Transactions of the Materials Research Society of Japan, 42 (2) pp. 31-36. ISSN 1382-3469
[Artikel], (2017)

Flege, Stefan ; Hatada, Ruriko ; Hanauer, Andreas ; Ensinger, Wolfgang ; Morimura, Takao ; Baba, Koumei :
Preparation of Metal-Containing Diamond-Like Carbon Films by Magnetron Sputtering and Plasma Source Ion Implantation and Their Properties.
[Online-Edition: https://doi.org/10.1155/2017/9082164]
In: Advances in Materials Science and Engineering, 2017 pp. 1-8. ISSN 1687-8434
[Artikel], (2017)

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