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Schellin, Ralf (1998)
Integrierte piezosensitive und kapazitive Ein-Chip-Silizium-Mikrofone.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Bibliographie
Klemberg-Sapieha, J. E. ; Martinu, L. ; Wertheimer, M. R. ; Günther, P. ; Schellin, Ralf ; Thielemann, C. ; Sessler, G.M. (1996)
Plasma deposition of low-stress electret films on electroacoustic and solar cell application.
In: Journal of Vacuum Science and Technology A, 14 (5)
doi: 10.1116/1.580199
Artikel, Bibliographie
Kreßmann, Reiner ; Hess, Gisela ; Schellin, Ralf (1996)
New results of micromachined silicon subminiature microphones using piezoelectric polymer layers.
9th International Symposium on Electrets (ISE 9). Shanghai, China (27.09.1996-27.09.1996)
doi: 10.1109/ISE.1996.578256
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
Kreßmann, Reiner ; Hess, Gisela ; Schellin, Ralf (1996)
Piezoelektrische Siliziummikrofone.
22. Jahrestagung für Akustik (DAGA 96). Bonn (26.02.1996-29.02.1996)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
Steinmann, Ralf ; Friemann, Harald ; Prescher, C. ; Schellin, Ralf (1995)
Mechanical behaviour of micromachined sensor membranes under uniform external pressure affected by in-plane stresses using a Ritz method and Hermite polynomials.
In: Sensors and Actuators A : Physical, 48 (1)
doi: 10.1016/0924-4247(95)00849-7
Artikel, Bibliographie
Sessler, Gerhard M. ; Schellin, Ralf ; Yang, G. M. (1995)
Use of ferroelectric polymers in acoustic sensors.
Workshop on the Technology of Ferroelectric Polymers. Albuquerque, NM, USA (17.10.1995-19.10.1995)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie