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Schellin, Ralf (1998):
Integrierte piezosensitive und kapazitive Ein-Chip-Silizium-Mikrofone.
Aachen: Shaker, 1998. 263 S, Aachen, Shaker, TU Darmstadt,
[Ph.D. Thesis]
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Schellin, Ralf (1998):
Integrierte piezosensitive und kapazitive Ein-Chip-Silizium-Mikrofone.
Aachen: Shaker, 1998. 263 S, Aachen, Shaker, TU Darmstadt,
[Ph.D. Thesis]