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Integrierte piezosensitive und kapazitive Ein-Chip-Silizium-Mikrofone

Schellin, Ralf :
Integrierte piezosensitive und kapazitive Ein-Chip-Silizium-Mikrofone.
Shaker , Aachen
[Dissertation]

Typ des Eintrags: Dissertation
Erschienen: 1998
Autor(en): Schellin, Ralf
Titel: Integrierte piezosensitive und kapazitive Ein-Chip-Silizium-Mikrofone
Sprache: Deutsch
Ort: Aachen
Verlag: Shaker
Edition: Aachen: Shaker, 1998. 263 S
Kollation: 263 S
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 15:55
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