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Integrierte piezosensitive und kapazitive Ein-Chip-Silizium-Mikrofone

Schellin, Ralf :
Integrierte piezosensitive und kapazitive Ein-Chip-Silizium-Mikrofone.
Shaker , Aachen
[Ph.D. Thesis]

Item Type: Ph.D. Thesis
Erschienen: 1998
Creators: Schellin, Ralf
Title: Integrierte piezosensitive und kapazitive Ein-Chip-Silizium-Mikrofone
Language: German
Place of Publication: Aachen
Publisher: Shaker
Edition: Aachen: Shaker, 1998. 263 S
Collation: 263 S
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Date Deposited: 19 Nov 2008 15:55
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