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New results of micromachined silicon subminiature microphones using piezoelectric polymer layers

Kreßmann, Reiner ; Heß, ; Schellin, :
New results of micromachined silicon subminiature microphones using piezoelectric polymer layers.
In: International Symposium on Electrets <9, 1996, Shanghai>: Proceedings. Hrsg.: X. Zhongfu (u.a.) S. 1044-1049 . IEEE , Piscataway, NJ
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1996)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 1996
Autor(en): Kreßmann, Reiner ; Heß, ; Schellin,
Titel: New results of micromachined silicon subminiature microphones using piezoelectric polymer layers
Sprache: Englisch
Reihe: International Symposium on Electrets <9, 1996, Shanghai>: Proceedings. Hrsg.: X. Zhongfu (u.a.) S. 1044-1049
Ort: Piscataway, NJ
Verlag: IEEE
Edition: Piscataway, NJ: IEEE, 1996
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:22
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