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Mechanical behaviour of micromachined sensor membranes under uniform external pressure affected by in-plane stresses using a Ritz method and Hermite polynomials

Steinmann, Ralf ; Friemann, Harald ; Prescher, C. ; Schellin, Ralf (1995)
Mechanical behaviour of micromachined sensor membranes under uniform external pressure affected by in-plane stresses using a Ritz method and Hermite polynomials.
In: Sensors and Actuators A : Physical, 48 (1)
doi: 10.1016/0924-4247(95)00849-7
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1995
Autor(en): Steinmann, Ralf ; Friemann, Harald ; Prescher, C. ; Schellin, Ralf
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Mechanical behaviour of micromachined sensor membranes under uniform external pressure affected by in-plane stresses using a Ritz method and Hermite polynomials
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 1995
Verlag: Elsevier
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Sensors and Actuators A : Physical
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: 48
(Heft-)Nummer: 1
DOI: 10.1016/0924-4247(95)00849-7
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 13 Fachbereich Bau- und Umweltingenieurwissenschaften
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 15:57
Letzte Änderung: 02 Feb 2024 13:12
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