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Mechanical behaviour of micromachined sensor membranes under uniform external pressure affected by in-plane stresses using a Ritz method and Hermite polynomials

Steinmann, Ralf ; Friemann, ; Prescher, ; Schellin, :
Mechanical behaviour of micromachined sensor membranes under uniform external pressure affected by in-plane stresses using a Ritz method and Hermite polynomials.
In: Sensors and actuators. A48 (1995), S. 37-46
[Artikel], (1995)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1995
Autor(en): Steinmann, Ralf ; Friemann, ; Prescher, ; Schellin,
Titel: Mechanical behaviour of micromachined sensor membranes under uniform external pressure affected by in-plane stresses using a Ritz method and Hermite polynomials
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Sensors and actuators. A48 (1995), S. 37-46
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Bau- und Umweltingenieurwissenschaften, Civil and Environmental Engineering
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 15:57
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