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Plasma deposition of low-stress electret films on electroacoustic and solar cell application

Klemberg-Sapieha, J. :
Plasma deposition of low-stress electret films on electroacoustic and solar cell application.
In: Journal of vacuum science and technology. A 14 (1996), No. 5, S. 2745-2780
[Artikel], (1996)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1996
Autor(en): Klemberg-Sapieha, J.
Titel: Plasma deposition of low-stress electret films on electroacoustic and solar cell application
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Journal of vacuum science and technology. A 14 (1996), No. 5, S. 2745-2780
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:02
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