Acker, Heinrich ; Kluge, J. v. ; Umbach, F. ; Langheinrich, W. (2000)
Berührungslose Drehmomentmessung - eine Anwendung für die Mikrosystemtechnik.
In: Thema Forschung
Artikel, Bibliographie

Umbach, Frank ; Acker, H. ; Kluge, J. v. ; Langheinrich, W. (2000)
Contactless measurement of torque.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Acker, Heinrich ; Langheinrich, W.
Hrsg.: Michaelis, Bernd (1998)
Untersuchung berührungsloser Sensoren für mechanische Größen durch FEM-Simulation elektrischer und magnetischer Felder.
Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik. Magdeburg (25.03.1998-27.03.1998)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Umbach, Frank ; Langheinrich, W.
Hrsg.: Michaelis, Bernd (1998)
Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen.
Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik. Magdeburg (25.03.1998-27.03.1998)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Umbach, Frank ; Langheinrich, W.
Hrsg.: Meixner, Hans (1998)
Integrierte Spulen für die Mikrosystemtechnik.
ITG-Fachtagung. Bad Nauheim, Germany (09.03.1998-11.03.1998)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Acker, Heinrich ; Langheinrich, W.
Hrsg.: Reichl, Herbert (1998)
A differential-type capacitive sensor for non-contact measurement of torque.
6th International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components. Potsdam (01.12.1998-03.12.1998)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Rombach, Pirmin ; Umbach, F. ; Langheinrich, W. (1996)
Modellierung und Technologieentwicklung für einen mikromechanischen Drehmomentsensor.
8. Fachtagung Sensoren und Meßsysteme. Bad Nauheim (11.03.1996-13.03.1996)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Schilling, Frank ; Langheinrich, W. ; Weiblen, K. ; Arand, D. (1996)
Simulative Nachbildung von Temperatureinflüssen auf die elektrischen Eigenschaften gehäusemontierter Drucksensoren.
Simulation mit der Finite-Element-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik. München (12. März 1996)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Rombach, Pirmin ; Steiger, H. ; Langheinrich, W. (1995)
Planar coils with ferromagnetic yoke for a micromachined torque sensor.
In: Journal of Micromechanics and Microengineering, 5
Artikel, Bibliographie