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Planar coils with ferromagnetic yoke for a micromachined torque sensor

Rombach, Pirmin ; Steiger, ; Langheinrich, :
Planar coils with ferromagnetic yoke for a micromachined torque sensor.
In: Journal of micromechanics and microengineering. 5 (1995), S. 136-138
[Artikel], (1995)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1995
Autor(en): Rombach, Pirmin ; Steiger, ; Langheinrich,
Titel: Planar coils with ferromagnetic yoke for a micromachined torque sensor
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Journal of micromechanics and microengineering. 5 (1995), S. 136-138
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 15:58
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