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Stefanov, Yordan ; Cilek, F. ; Endres, Ralf ; Schwalke, Udo (2005)
Alternative Optimization Techniques for Shallow Trench Isolation and Replacement Gate Technology CMP.
The 2nd Pacific-Rim International Conference on Planarization CMP and Its Application Technology (PacRim-CMP). Seoul, Korea (17.11.2005-19.11.2005)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
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