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Alternative Optimization Techniques for Shallow Trench Isolation and Replacement Gate Technology CMP

Stefanov, Yordan ; Cilek, F. ; Endres, Ralf ; Schwalke, Udo :
Alternative Optimization Techniques for Shallow Trench Isolation and Replacement Gate Technology CMP.
In: The 2nd Pacific-Rim International Conference on Planarization CMP and Its Application Technology (PacRim-CMP), 17.-19.11.2005, Seoul, Korea.
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2005)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 2005
Autor(en): Stefanov, Yordan ; Cilek, F. ; Endres, Ralf ; Schwalke, Udo
Titel: Alternative Optimization Techniques for Shallow Trench Isolation and Replacement Gate Technology CMP
Sprache: Englisch
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik
Veranstaltungstitel: The 2nd Pacific-Rim International Conference on Planarization CMP and Its Application Technology (PacRim-CMP)
Veranstaltungsort: Seoul, Korea
Veranstaltungsdatum: 17.-19.11.2005
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:19
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