Stefanov, Yordan ; Cilek, F. ; Endres, Ralf ; Schwalke, Udo
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Alternative Optimization Techniques for Shallow Trench Isolation and Replacement Gate Technology CMP.
In: The 2nd Pacific-Rim International Conference on Planarization CMP and Its Application Technology (PacRim-CMP), 17.-19.11.2005, Seoul, Korea.
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2005)
| Typ des Eintrags: | Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe) |
|---|---|
| Erschienen: | 2005 |
| Autor(en): | Stefanov, Yordan ; Cilek, F. ; Endres, Ralf ; Schwalke, Udo |
| Titel: | Alternative Optimization Techniques for Shallow Trench Isolation and Replacement Gate Technology CMP |
| Sprache: | Englisch |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik |
| Veranstaltungstitel: | The 2nd Pacific-Rim International Conference on Planarization CMP and Its Application Technology (PacRim-CMP) |
| Veranstaltungsort: | Seoul, Korea |
| Veranstaltungsdatum: | 17.-19.11.2005 |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:19 |
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