ULB

TUbiblio

Blättern nach Person

Gruppiere nach: Keine Gruppierung | Typ des Eintrags | Publikationsjahr | Sprache

Anzahl der Einträge: 1.

Wechsler, K. ; Rangelow, I. ; Borkowicz, Z. ; Durst, F. ; Kadinski, L. ; Schäfer, M. (1993)
Experimental and Numerical Study of the Effects of Neutral Transport and Chemical Kinetics on Plasma Etching System CF4/Si.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Diese Liste wurde am Sat Nov 16 04:38:11 2024 CET generiert.

OAI 2.0-Basis-URL: https://tubiblio.ulb.tu-darmstadt.de/cgi/oai2 TUbiblio verwendet EPrints 3.

Drucken |

Impressum |

Datenschutzerklärung