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Experimental and Numerical Study of the Effects of Neutral Transport and Chemical Kinetics on Plasma Etching System CF4/Si

Wechsler, K. ; Rangelow, I. ; Borkowicz, Z. ; Durst, F. ; Kadinski, L. ; Schäfer, M. (1993)
Experimental and Numerical Study of the Effects of Neutral Transport and Chemical Kinetics on Plasma Etching System CF4/Si.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 1993
Autor(en): Wechsler, K. ; Rangelow, I. ; Borkowicz, Z. ; Durst, F. ; Kadinski, L. ; Schäfer, M.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Experimental and Numerical Study of the Effects of Neutral Transport and Chemical Kinetics on Plasma Etching System CF4/Si
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 1993
Buchtitel: Proceedings of International Symposium on Plasma Etching
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 16 Fachbereich Maschinenbau > Fachgebiet für Numerische Berechnungsverfahren im Maschinenbau (FNB)
16 Fachbereich Maschinenbau
Hinterlegungsdatum: 24 Mär 2014 16:05
Letzte Änderung: 24 Mär 2014 16:05
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