TU Darmstadt / ULB / TUbiblio

Blättern nach Person

Ebene hoch
Exportieren als [feed] Atom [feed] RSS 1.0 [feed] RSS 2.0
Gruppiere nach: Keine Gruppierung | Typ des Eintrags | Publikationsjahr | Sprache
Anzahl der Einträge: 1.

Wechsler, K. ; Rangelow, I. ; Borkowicz, Z. ; Durst, F. ; Kadinski, L. ; Schäfer, M. (1993)
Experimental and Numerical Study of the Effects of Neutral Transport and Chemical Kinetics on Plasma Etching System CF4/Si.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Diese Liste wurde am Tue Mar 19 03:25:02 2024 CET generiert.