Lemme, M. C. ; Gottlob, H. D. B. ; Echtermeyer, T. ; Kurz, H. ; Endres, Ralf ; Schwalke, Udo ; Czernohorsky, M. ; Osten, H. J. (2008)
CMOS Integration of Epitaxial Gd2O3.
15th Workshop on Dielectrics in Microelectronics (WoDiM). Bad Saarow, Deutschland (23.06.2008-25.06.2008)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2008 |
| Autor(en): | Lemme, M. C. ; Gottlob, H. D. B. ; Echtermeyer, T. ; Kurz, H. ; Endres, Ralf ; Schwalke, Udo ; Czernohorsky, M. ; Osten, H. J. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | CMOS Integration of Epitaxial Gd2O3 |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 25 Juni 2008 |
| Veranstaltungstitel: | 15th Workshop on Dielectrics in Microelectronics (WoDiM) |
| Veranstaltungsort: | Bad Saarow, Deutschland |
| Veranstaltungsdatum: | 23.06.2008-25.06.2008 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 29 Jun 2011 10:32 |
| Letzte Änderung: | 28 Mär 2024 13:48 |
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