Lemme, M. C. ; Gottlob, H. D. B. ; Echtermeyer, T. ; Kurz, H. ; Endres, Ralf ; Schwalke, Udo ; Czernohorsky, M. ; Osten, H. J. (2009)
Complementary Metal Oxide Semiconductor Integration of Epitaxial Gd2O3.
In: Journal of Vacuum Science & Technology B, 27 (1)
Artikel, Bibliographie
URL / URN: http://dx.doi.org/10.1116/1.3054350
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2009 |
| Autor(en): | Lemme, M. C. ; Gottlob, H. D. B. ; Echtermeyer, T. ; Kurz, H. ; Endres, Ralf ; Schwalke, Udo ; Czernohorsky, M. ; Osten, H. J. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Complementary Metal Oxide Semiconductor Integration of Epitaxial Gd2O3 |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 24 Juni 2009 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Journal of Vacuum Science & Technology B |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 27 |
| (Heft-)Nummer: | 1 |
| URL / URN: | http://dx.doi.org/10.1116/1.3054350 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 29 Jun 2011 09:42 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:50 |
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