Stefanov, Yordan ; Komaragiri, Rama Subrahmanyam ; Ruland, Tino ; Schwalke, Udo (2004)
Electrical AFM Measurements for STI CMP Erosion Evaluation.
In: Nanoscale International Conference: Abstracts
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2004 |
| Autor(en): | Stefanov, Yordan ; Komaragiri, Rama Subrahmanyam ; Ruland, Tino ; Schwalke, Udo |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Electrical AFM Measurements for STI CMP Erosion Evaluation |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 15 Oktober 2004 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Nanoscale International Conference: Abstracts |
| Zusätzliche Informationen: | Nanoscale International Conference, Grenoble, Frankreich, 13.-15.10.2004 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:20 |
| Letzte Änderung: | 08 Mai 2024 08:19 |
| PPN: | |
| Export: | |
| Suche nach Titel in: | TUfind oder in Google |
 |
Frage zum Eintrag |
Optionen (nur für Redakteure)
 |
Redaktionelle Details anzeigen |
Drucken
Impressum