Stefanov, Yordan ; Cilek, F. ; Endres, Ralf ; Schwalke, Udo (2005)
Alternative Optimization Techniques for Shallow Trench Isolation and Replacement Gate Technology CMP.
The 2nd Pacific-Rim International Conference on Planarization CMP and Its Application Technology (PacRim-CMP). Seoul, Korea (17.11.2005-19.11.2005)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2005 |
| Autor(en): | Stefanov, Yordan ; Cilek, F. ; Endres, Ralf ; Schwalke, Udo |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Alternative Optimization Techniques for Shallow Trench Isolation and Replacement Gate Technology CMP |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 11 November 2005 |
| Veranstaltungstitel: | The 2nd Pacific-Rim International Conference on Planarization CMP and Its Application Technology (PacRim-CMP) |
| Veranstaltungsort: | Seoul, Korea |
| Veranstaltungsdatum: | 17.11.2005-19.11.2005 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:19 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:02 |
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