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Origin of the Threshold Voltage Instability in SiO2/HfO2 Dual Layer Gate Dielectrics

Kerber, Andreas ; Cartier, E. ; Pantisano, L. ; Degraeve, R. ; Kauerauf, T. ; Kim, Y. ; Hou, A. ; Groeseneken, G. ; Maes, H. E. ; Schwalke, Udo (2003)
Origin of the Threshold Voltage Instability in SiO2/HfO2 Dual Layer Gate Dielectrics.
In: IEEE Dlectron Device Letters, 24 (2)
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2003
Autor(en): Kerber, Andreas ; Cartier, E. ; Pantisano, L. ; Degraeve, R. ; Kauerauf, T. ; Kim, Y. ; Hou, A. ; Groeseneken, G. ; Maes, H. E. ; Schwalke, Udo
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Origin of the Threshold Voltage Instability in SiO2/HfO2 Dual Layer Gate Dielectrics
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: Februar 2003
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: IEEE Dlectron Device Letters
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: 24
(Heft-)Nummer: 2
URL / URN: http://dx.doi.org/10.1109/LED.2003.808844
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:18
Letzte Änderung: 20 Feb 2020 13:25
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