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Deutsch
Wischmeyer, Frank (2001)
Siliziumkarbid-CVD in Horizontalflussreaktoren mit Substratrotation: Aspekte der Homo- und Heteroepitaxie.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Bibliographie
Wischmeyer, Frank ; Horn, J. ; Niemann, E. ; Hartnagel, H. L. (1996)
Rastertunnelmikroskopie als Methode zur Untersuchung des Interfaces zwischen CVD-gewachsenem 3C-SiC und Silizium.
In: Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft. Reihe 6, 31 (6)
Artikel, Bibliographie
Englisch
Wischmeyer, Frank ; Niemann, E. ; Hartnagel, H. L. (1999)
Improvements of the SiC homoepitaxy process in a horizont cold-wall CVD reactor.
In: Journal of electronic materials, 28
Artikel, Bibliographie