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Siliziumkarbid-CVD in Horizontalflussreaktoren mit Substratrotation: Aspekte der Homo- und Heteroepitaxie

Wischmeyer, Frank (2001):
Siliziumkarbid-CVD in Horizontalflussreaktoren mit Substratrotation: Aspekte der Homo- und Heteroepitaxie.
Darmstadt, Techn. Univ., TU Darmstadt, [Ph.D. Thesis]

Item Type: Ph.D. Thesis
Erschienen: 2001
Creators: Wischmeyer, Frank
Title: Siliziumkarbid-CVD in Horizontalflussreaktoren mit Substratrotation: Aspekte der Homo- und Heteroepitaxie
Language: German
Place of Publication: Darmstadt
Publisher: Techn. Univ.
Collation: V,102,XII S.
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:04
License: [undefiniert]
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