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Siliziumkarbid-CVD in Horizontalflussreaktoren mit Substratrotation: Aspekte der Homo- und Heteroepitaxie

Wischmeyer, Frank :
Siliziumkarbid-CVD in Horizontalflussreaktoren mit Substratrotation: Aspekte der Homo- und Heteroepitaxie.
Techn. Univ. , Darmstadt
[Dissertation]

Typ des Eintrags: Dissertation
Erschienen: 2001
Autor(en): Wischmeyer, Frank
Titel: Siliziumkarbid-CVD in Horizontalflussreaktoren mit Substratrotation: Aspekte der Homo- und Heteroepitaxie
Sprache: Deutsch
Ort: Darmstadt
Verlag: Techn. Univ.
Kollation: V,102,XII S.
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:04
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