Greiner, Felix ; Quednau, Sebastian ; Dassinger, Florian ; Sarwar, Reza ; Schlaak, Helmut F. ; Guttmann, Markus ; Meyer, Pascal (2013)
Fabrication techniques of multiscale 3D-MEMS with vertical metal micro- and nanowire integration.
In: Journal of Micromechanics and Microengineering
doi: 10.1088/0960-1317/23/2/025018
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2013 |
| Autor(en): | Greiner, Felix ; Quednau, Sebastian ; Dassinger, Florian ; Sarwar, Reza ; Schlaak, Helmut F. ; Guttmann, Markus ; Meyer, Pascal |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Fabrication techniques of multiscale 3D-MEMS with vertical metal micro- and nanowire integration |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 9 Januar 2013 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| DOI: | 10.1088/0960-1317/23/2/025018 |
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| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme |
| Hinterlegungsdatum: | 10 Jan 2013 10:08 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 10:02 |
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