Endres, Ralf ; Stefanov, Yordan ; Schwalke, Udo (2006)
Electrical Performance of Damascene Metal Gate MOSFETs with Crystalline Gd2O3 Gate Dielectric.
37th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference (SISC). San Diego, CA, USA (07.12.2006-09.12.2006)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2006 |
| Autor(en): | Endres, Ralf ; Stefanov, Yordan ; Schwalke, Udo |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Electrical Performance of Damascene Metal Gate MOSFETs with Crystalline Gd2O3 Gate Dielectric |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 9 Dezember 2006 |
| Veranstaltungstitel: | 37th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference (SISC) |
| Veranstaltungsort: | San Diego, CA, USA |
| Veranstaltungsdatum: | 07.12.2006-09.12.2006 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 27 Jun 2011 14:09 |
| Letzte Änderung: | 22 Mai 2013 14:09 |
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