Endres, Ralf ; Stefanov, Yordan ; Schwalke, Udo (2007)
Electrical Characterization of Crystalline Gd2O3 Gate Dielectric MOSFETs Fabricated by Damascene Metal Gate Technology.
In: Microelectronics Reliability, 47 (4-5)
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2007 |
| Autor(en): | Endres, Ralf ; Stefanov, Yordan ; Schwalke, Udo |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Electrical Characterization of Crystalline Gd2O3 Gate Dielectric MOSFETs Fabricated by Damascene Metal Gate Technology |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2007 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Microelectronics Reliability |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 47 |
| (Heft-)Nummer: | 4-5 |
| URL / URN: | http://dx.doi.org/10.1016/j.microrel.2007.01.018 |
| Zusätzliche Informationen: | 14th Workshop on Dielectrics in Microelectronics (WoDiM), Santa Tecla, Italien, 26.-28.06.2006 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:28 |
| Letzte Änderung: | 08 Mai 2024 08:53 |
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