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Characterization of Carbon Nanotube Field Effect Transistor (CNTFET) Fabrication Process by Atomic Force Microscopy (AFM) and Conductive-AFM

Wessely, Frank ; Ruland, Tino ; Schwalke, Udo :
Characterization of Carbon Nanotube Field Effect Transistor (CNTFET) Fabrication Process by Atomic Force Microscopy (AFM) and Conductive-AFM.
In: European Congress on Advanced Materials and Processes (EUROMAT), 10.-13.09.2007, Nürnberg, Deutschland.
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2007)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 2007
Autor(en): Wessely, Frank ; Ruland, Tino ; Schwalke, Udo
Titel: Characterization of Carbon Nanotube Field Effect Transistor (CNTFET) Fabrication Process by Atomic Force Microscopy (AFM) and Conductive-AFM
Sprache: Englisch
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik
Veranstaltungstitel: European Congress on Advanced Materials and Processes (EUROMAT)
Veranstaltungsort: Nürnberg, Deutschland
Veranstaltungsdatum: 10.-13.09.2007
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:28
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