Wessely, Frank ; Ruland, Tino ; Schwalke, Udo (2007)
Characterization of Carbon Nanotube Field Effect Transistor (CNTFET) Fabrication Process by Atomic Force Microscopy (AFM) and Conductive-AFM.
European Congress on Advanced Materials and Processes (EUROMAT). Nürnberg, Deutschland (10.09.2007-13.09.2007)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2007 |
| Autor(en): | Wessely, Frank ; Ruland, Tino ; Schwalke, Udo |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Characterization of Carbon Nanotube Field Effect Transistor (CNTFET) Fabrication Process by Atomic Force Microscopy (AFM) and Conductive-AFM |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 13 September 2007 |
| Veranstaltungstitel: | European Congress on Advanced Materials and Processes (EUROMAT) |
| Veranstaltungsort: | Nürnberg, Deutschland |
| Veranstaltungsdatum: | 10.09.2007-13.09.2007 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:28 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:15 |
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