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Mix-and-Match Lithography Based Ultrathin-body SOI Nanowires and Schottky-S/D-FETs

Wessely, Frank ; Rispal, Lorraine ; Schwalke, Udo (2007)
Mix-and-Match Lithography Based Ultrathin-body SOI Nanowires and Schottky-S/D-FETs.
In: Proceedings of Semiconductor Advances for Future Electronics (SAFE)
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2007
Autor(en): Wessely, Frank ; Rispal, Lorraine ; Schwalke, Udo
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Mix-and-Match Lithography Based Ultrathin-body SOI Nanowires and Schottky-S/D-FETs
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 30 September 2007
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Proceedings of Semiconductor Advances for Future Electronics (SAFE)
URL / URN: http://www.stw.nl/NR/rdonlyres/ADD2FB2C-3AD4-4D1E-BA0A-1EAEA...
Zusätzliche Informationen:

10th Annual Workshop on Semiconductor Advances for Future Electronics and Sensors (SAFE), Veldhoven, Niederlande, 29.-30.09.2007

Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:28
Letzte Änderung: 08 Mai 2024 09:07
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