Ruland, Tino ; Endres, Ralf ; Schwalke, Udo (2005)
Nanoscale Electrical Characterization of Crystalline Praseodymium Oxide High-k Gate Dielectric MOSFETs with Conductive Atomic Force Microscopy.
European Congress on Advanced Materials and Processes (EUROMAT). Prag, Tschechien (05.09.2005-08.09.2005)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2005 |
| Autor(en): | Ruland, Tino ; Endres, Ralf ; Schwalke, Udo |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Nanoscale Electrical Characterization of Crystalline Praseodymium Oxide High-k Gate Dielectric MOSFETs with Conductive Atomic Force Microscopy |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 8 September 2005 |
| Veranstaltungstitel: | European Congress on Advanced Materials and Processes (EUROMAT) |
| Veranstaltungsort: | Prag, Tschechien |
| Veranstaltungsdatum: | 05.09.2005-08.09.2005 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:23 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:08 |
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