Stefanov, Yordan ; Ruland, Tino ; Schwalke, Udo (2004)
Electrical AFM Measurements for Evaluation of Nitride Erosion in Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Planarization.
In: Proceedings of the MRS Fall Meeting 2004
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2004 |
| Autor(en): | Stefanov, Yordan ; Ruland, Tino ; Schwalke, Udo |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Electrical AFM Measurements for Evaluation of Nitride Erosion in Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Planarization |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 3 Dezember 2004 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Proceedings of the MRS Fall Meeting 2004 |
| Zusätzliche Informationen: | Symposium on Scanning Probe and Other Novel Microscopies of Local Phenomena in Nanostructured Materials, Boston, MA, USA, 29.11.-03.12.2004 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:20 |
| Letzte Änderung: | 08 Mai 2024 09:09 |
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