Stefanov, Yordan ; Komaragiri, Rama Subrahmanyam ; Schwalke, Udo (2004)
Device Level and Nanoscale Electrical Characterization of Crystalline Praseodymium Oxide High-k Gate Dielectric MOSFETs.
In: Proceedings of the SEMATECH International Workshop on Electrical Characterization and Reliability for High-K Devices
Artikel, Bibliographie
Typ des Eintrags: | Artikel |
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Erschienen: | 2004 |
Autor(en): | Stefanov, Yordan ; Komaragiri, Rama Subrahmanyam ; Schwalke, Udo |
Art des Eintrags: | Bibliographie |
Titel: | Device Level and Nanoscale Electrical Characterization of Crystalline Praseodymium Oxide High-k Gate Dielectric MOSFETs |
Sprache: | Englisch |
Publikationsjahr: | 5 November 2004 |
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Proceedings of the SEMATECH International Workshop on Electrical Characterization and Reliability for High-K Devices |
Zusätzliche Informationen: | SEMATECH International Workshop on Electrical Characterization and Reliability for High-K Devices, Austin, TX, USA, 04.-05.11.2004 |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik |
Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:18 |
Letzte Änderung: | 07 Mai 2024 10:52 |
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