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Device Level and Nanoscale Electrical Characterization of Crystalline Praseodymium Oxide High-k Gate Dielectric MOSFETs

Stefanov, Yordan ; Komaragiri, Rama Subrahmanyam ; Schwalke, Udo (2004)
Device Level and Nanoscale Electrical Characterization of Crystalline Praseodymium Oxide High-k Gate Dielectric MOSFETs.
In: Proceedings of the SEMATECH International Workshop on Electrical Characterization and Reliability for High-K Devices
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2004
Autor(en): Stefanov, Yordan ; Komaragiri, Rama Subrahmanyam ; Schwalke, Udo
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Device Level and Nanoscale Electrical Characterization of Crystalline Praseodymium Oxide High-k Gate Dielectric MOSFETs
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 5 November 2004
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Proceedings of the SEMATECH International Workshop on Electrical Characterization and Reliability for High-K Devices
Zusätzliche Informationen:

SEMATECH International Workshop on Electrical Characterization and Reliability for High-K Devices, Austin, TX, USA, 04.-05.11.2004

Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:18
Letzte Änderung: 07 Mai 2024 10:52
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