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Walther, F. ; Davydovskaya, P. ; Zucher, S. ; Kaiser, M. ; Herberg, H. ; Gigler, A. M. ; Stark, R. W. (2007)
Stability of the hydrophilic behavior of oxygen plasma activated SU-8.
In: Journal of Micromechanics and Microengineering, 17 (3)
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