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2001
Galonska, M. ; Gabor, Ch. ; Thomae, R. W. ; Klein, H. ; Volz, K. ; Ensinger, W. (2001)
Determination of ion incidence angles in plasma immersion ion implantation by means of a hollow multi-aperture target.
In: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, (175-177)
doi: 10.1016/S0168-583X(00)00653-4
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