Deutsch

Conradi, T. ; Hubenthal, F. ; Röll, K. ; Stobiecki, T. ; Thoma, K. ; Berg, G. ; Broszeit, E. ; Bauer, S. ; Bock, W. ; Scheib, M. ; Wiescher, D. ; Oechsner, H. (1998)
Spannungsanisotropie und Struktur von TiN-Schichten.
In: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik, 29 (9)
doi: 10.1002/mawe.19980290906
Artikel, Bibliographie

Englisch

Stobiecki, T. ; Stobiecki, F. ; Conradi, T. ; Kraegermann, S. ; Röll, K. ; Berg, G. (1995)
RFA as control method of the reactive sputtering process on TiN films.
In: Fresenius Journal of Analytical Chemistry, 353
doi: 10.1007/BF00321317
Artikel, Bibliographie