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Spannungsanisotropie und Strukturen von TiN-Schichten

Conradi, T. ; Hubenthal, ; Röll, ; Stobiecki, ; Thoma, ; Berg, ; Broszeit, ; Bauer, ; Bock, (1998):
Spannungsanisotropie und Strukturen von TiN-Schichten.
In: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik. 29 (1998), 9, S. 476-483, [Article]

Item Type: Article
Erschienen: 1998
Creators: Conradi, T. ; Hubenthal, ; Röll, ; Stobiecki, ; Thoma, ; Berg, ; Broszeit, ; Bauer, ; Bock,
Title: Spannungsanisotropie und Strukturen von TiN-Schichten
Language: German
Journal or Publication Title: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik. 29 (1998), 9, S. 476-483
Divisions: 16 Department of Mechanical Engineering
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:19
License: [undefiniert]
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