Konferenzveröffentlichung

Tilsch, Markus ; Scheuer, Volker ; Biersack, Jochen ; Tschudi, Theo
Hrsg.: Gee, Anthony E. (1996)
3D simulation of thin film growth conditions at ion beam sputter deposition and comparison to experimental investigations.
doi: 10.1117/12.246794
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie