Tilsch, Markus (1997)
Eigenschaften ionenstrahlgeputteter optischer SiO 2- und TiO 2-Schichten bei unterschiedlichen Wachstumsbedingungen und Veränderungen bei thermischer Nachbehandlung.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Bibliographie

Tilsch, Markus ; Scheuer, Volker ; Biersack, Jochen ; Tschudi, Theo
Hrsg.: Gee, Anthony E. (1996)
3D simulation of thin film growth conditions at ion beam sputter deposition and comparison to experimental investigations.
doi: 10.1117/12.246794
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie