TU Darmstadt
ULB
TUbiblio
Blättern nach Person
Ebene hoch |
Springe zu: 2007
Anzahl der Einträge: 1.
2007
Stefanov, Yordan ; Schwalke, Udo
Hrsg.: Li, Yuzhuo (2007)
Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Planarization.
In: Microelectronic Applications of Chemical Mechanical Planarization
Buchkapitel, Bibliographie