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Fabrication of 3D-MEMS with High Aspect Ratio Micro Wires

Greiner, Felix ; Guttmann, Markus ; Meyer, Pascal ; Schlaak, Helmut F. (2013)
Fabrication of 3D-MEMS with High Aspect Ratio Micro Wires.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2013
Autor(en): Greiner, Felix ; Guttmann, Markus ; Meyer, Pascal ; Schlaak, Helmut F.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Fabrication of 3D-MEMS with High Aspect Ratio Micro Wires
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 21 April 2013
Ort: Berlin
Buchtitel: Book of Abstracts on 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology HARMNST 2013
Zugehörige Links:
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
Hinterlegungsdatum: 15 Jul 2013 07:35
Letzte Änderung: 15 Jul 2013 07:35
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