Schmid, J. ; Töpfer, U. ; Murmann-Biesenecker, H. ; Munz, G. ; Münzenmaier, A. ; Maichl, M. ; Ballas, Ruediger ; Schlaak, Helmut F. ; Steinkopff, T. ; Schuh, C. ; Laurent, M. ; Bödinger, H. ; Hoffmann, M. ; Wagner, S. (2004)
Piezoelectric micro actuator with an integrated sensor to control the air flow in a micro valve.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Schmid, Andreas Joseph ; Wich, T. ; Fischer, T. ; Töpfer, U. ; Steinkopff, T. ; Schuh, C. ; Weinmann, M. ; Maichl, M. ; Munz, G. ; Hanisch, C. ; Schlaak, Helmut F. ; Ballas, Ruediger ; Hoffmann, M. ; Wagner, S. (2002)
Low voltage piezoelectric actuator with integrated strain gauge : a new technology for industrial automation.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie