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Schlaak, Helmut F. ; Guttmann, M. ; Heckele, M. (2006)
Werkstoffe und Fertigungsverfahren als Innovationsmotor der Mikrosystemtechnik.
In: Potenziale und Trends der Mikro- und Nanotechnik : zum 10-jährigen Bestehen der GMM
Buchkapitel, Bibliographie
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