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Werkstoffe und Fertigungsverfahren als Innovationsmotor der Mikrosystemtechnik

Schlaak, Helmut F. and Guttmann, M. and Heckele, M. (2006):
Werkstoffe und Fertigungsverfahren als Innovationsmotor der Mikrosystemtechnik.
In: Potenziale und Trends der Mikro- und Nanotechnik : zum 10-jährigen Bestehen der GMM / [GMM, VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik]. - Berlin ; Offenbach : VDE-Verl., 2006, S. 59-68 ISBN: 3-8007-2986-5, Berlin ; Offenbach, VDE-Verl., [Book Section]

Item Type: Book Section
Erschienen: 2006
Creators: Schlaak, Helmut F. and Guttmann, M. and Heckele, M.
Title: Werkstoffe und Fertigungsverfahren als Innovationsmotor der Mikrosystemtechnik
Language: German
Title of Book: Potenziale und Trends der Mikro- und Nanotechnik : zum 10-jährigen Bestehen der GMM / [GMM, VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik]. - Berlin ; Offenbach : VDE-Verl., 2006, S. 59-68 ISBN: 3-8007-2986-5
Place of Publication: Berlin ; Offenbach
Publisher: VDE-Verl.
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
Date Deposited: 20 Nov 2008 08:26
License: [undefiniert]
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