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Schlaak, Helmut F. and Guttmann, M. and Heckele, M. (2006):
Werkstoffe und Fertigungsverfahren als Innovationsmotor der Mikrosystemtechnik.
In: Potenziale und Trends der Mikro- und Nanotechnik : zum 10-jährigen Bestehen der GMM / [GMM, VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik]. - Berlin ; Offenbach : VDE-Verl., 2006, S. 59-68 ISBN: 3-8007-2986-5, Berlin ; Offenbach, VDE-Verl., [Book Section]

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