Marathe, Vaibhav G. ; Stefanov, Yordan ; Schwalke, Udo ; DasGupta, Nandita (2006)
Study of Pinholes in Ultrathin SiO2 by C-AFM Technique.
In: Thin Solid Films, 504 (1-2)
Artikel, Bibliographie
URL / URN: http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2005.09.019
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2006 |
| Autor(en): | Marathe, Vaibhav G. ; Stefanov, Yordan ; Schwalke, Udo ; DasGupta, Nandita |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Study of Pinholes in Ultrathin SiO2 by C-AFM Technique |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2006 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Thin Solid Films |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 504 |
| (Heft-)Nummer: | 1-2 |
| URL / URN: | http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2005.09.019 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 05 Jul 2011 06:46 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:50 |
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