Endres, Ralf ; Schwalke, Udo (2010)
Prozessintegration und elektrische Charakterisierung von kristallinen Gd2O3 High-k Dielektrika.
VDE-Fachgruppentagung 8.5.6 - fWLR / Wafer Level Reliability. Erfurt, Deutschland (17.05.2010-18.05.2010)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2010 |
| Autor(en): | Endres, Ralf ; Schwalke, Udo |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Prozessintegration und elektrische Charakterisierung von kristallinen Gd2O3 High-k Dielektrika |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 18 Mai 2010 |
| Veranstaltungstitel: | VDE-Fachgruppentagung 8.5.6 - fWLR / Wafer Level Reliability |
| Veranstaltungsort: | Erfurt, Deutschland |
| Veranstaltungsdatum: | 17.05.2010-18.05.2010 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 28 Jun 2011 10:17 |
| Letzte Änderung: | 22 Mai 2013 14:10 |
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