Peter, D. ; Dalmer, M. ; Lechner, A. ; Gigler, A. M. ; Stark, R. W. ; Bensch, W. (2011)
Maesurement of the mechanical stability of semiconductor line structures in drying liquids with application to pattern collapse.
In: J. Micromech. Microeng., 21
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2011 |
| Autor(en): | Peter, D. ; Dalmer, M. ; Lechner, A. ; Gigler, A. M. ; Stark, R. W. ; Bensch, W. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Maesurement of the mechanical stability of semiconductor line structures in drying liquids with application to pattern collapse |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2011 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | J. Micromech. Microeng. |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 21 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | Exzellenzinitiative Exzellenzinitiative > Exzellenzcluster Zentrale Einrichtungen Exzellenzinitiative > Exzellenzcluster > Center of Smart Interfaces (CSI) ?? fb99_csi~fg5 ?? |
| Hinterlegungsdatum: | 12 Jan 2011 12:34 |
| Letzte Änderung: | 03 Jun 2018 21:24 |
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