Peter, D. ; Dalmer, M. ; Kruwinus, H. ; Lechner, A. ; Archer, L. ; Gaulhofer, E. ; Gigler, A. M. ; Stark, R. W. ; Bensch, W. (2009)
Measurement of the mechanical stability of semiconductor line structures in relevant media.
doi: 10.1149/1.3108349
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2009 |
| Autor(en): | Peter, D. ; Dalmer, M. ; Kruwinus, H. ; Lechner, A. ; Archer, L. ; Gaulhofer, E. ; Gigler, A. M. ; Stark, R. W. ; Bensch, W. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Measurement of the mechanical stability of semiconductor line structures in relevant media |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2009 |
| Buchtitel: | ECS Trans |
| Reihe: | Vol. 16 |
| Band einer Reihe: | iss. 4 |
| DOI: | 10.1149/1.3108349 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | ?? fb99_csi~fg5 ?? nicht bekannt Zentrale Einrichtungen |
| Hinterlegungsdatum: | 05 Jul 2010 07:30 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:35 |
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