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Piezoelectric micro actuator with an integrated sensor to control the air flow in a micro valve

Schmid, J. ; Töpfer, U. ; Murmann-Biesenecker, H. ; Munz, G. ; Münzenmaier, A. ; Maichl, M. ; Ballas, Ruediger ; Schlaak, Helmut F. ; Steinkopff, T. ; Schuh, C. ; Laurent, M. ; Bödinger, H. ; Hoffmann, M. ; Wagner, S. (2004)
Piezoelectric micro actuator with an integrated sensor to control the air flow in a micro valve.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2004
Autor(en): Schmid, J. ; Töpfer, U. ; Murmann-Biesenecker, H. ; Munz, G. ; Münzenmaier, A. ; Maichl, M. ; Ballas, Ruediger ; Schlaak, Helmut F. ; Steinkopff, T. ; Schuh, C. ; Laurent, M. ; Bödinger, H. ; Hoffmann, M. ; Wagner, S.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Piezoelectric micro actuator with an integrated sensor to control the air flow in a micro valve
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 2004
Ort: Bremen
Verlag: HVG Hanseatische Veranstaltungs-GmbH
Reihe: Actuator 2004 : conference proceedings ; 14 - 16 June 2004, Bremen, Germany / 9th International Conference on New Actuators & 3rd International Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems. Ed.: Hubert Borgmann.- Bremen : HVG Hanseatische Veranstaltung
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:22
Letzte Änderung: 19 Apr 2016 07:53
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