Stefanov, Yordan ; Singh, Ravneet ; DasGupta, Nandita ; Misra, Pankaj ; Schwalke, Udo (2005)
Conductive Atomic Force Microscopy Study of Leakage Currents Through Microscopic Structural Defects in High-K Gate Dielectrics.
In: Proceedings of The Electrochemical Society Conference "Crystalline Defects and Contamination" (ECS-DECON)
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2005 |
| Autor(en): | Stefanov, Yordan ; Singh, Ravneet ; DasGupta, Nandita ; Misra, Pankaj ; Schwalke, Udo |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Conductive Atomic Force Microscopy Study of Leakage Currents Through Microscopic Structural Defects in High-K Gate Dielectrics |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 16 September 2005 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Proceedings of The Electrochemical Society Conference "Crystalline Defects and Contamination" (ECS-DECON) |
| Veranstaltungstitel: | The Electrochemical Society Conference "Crystalline Defects and Contamination" (ECS-DECON) |
| Veranstaltungsort: | Grenoble, Frankreich |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:22 |
| Letzte Änderung: | 20 Feb 2020 13:24 |
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