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Highly resolved analysis of the chemistry and mechanical properties of an a-C:H coating system by nanoindentation and auger electron spectroscopy

Schmid, Christoph ; Maier, V. ; Schaufler, J. ; Butz, B. ; Spiecker, E. ; Meier, S. ; Göken, M. ; Durst, Karsten (2013)
Highly resolved analysis of the chemistry and mechanical properties of an a-C:H coating system by nanoindentation and auger electron spectroscopy.
In: Thin Solid Films, (528)
doi: 10.1016/j.tsf.2012.05.092
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2013
Autor(en): Schmid, Christoph ; Maier, V. ; Schaufler, J. ; Butz, B. ; Spiecker, E. ; Meier, S. ; Göken, M. ; Durst, Karsten
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Highly resolved analysis of the chemistry and mechanical properties of an a-C:H coating system by nanoindentation and auger electron spectroscopy
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 2013
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Thin Solid Films
(Heft-)Nummer: 528
DOI: 10.1016/j.tsf.2012.05.092
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Physikalische Metallkunde
Hinterlegungsdatum: 19 Jul 2018 11:26
Letzte Änderung: 19 Jul 2018 11:26
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