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Konferenzveröffentlichung
Hegemann, Dirk ; Vohrer, U. ; Oehr, C. ; Riedel, Ralf (1999)
Deposition of SiOx films from O2/HMDSO plasmas.
th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE 98). Garmisch-Partenkirchen, GERMANY (14.09.1998-18.09.1998)
doi: 10.1016/S0257-8972(99)00092-4
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
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