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Deutsch
Tilsch, Markus (1997)
Eigenschaften ionenstrahlgeputteter optischer SiO 2- und TiO 2-Schichten bei unterschiedlichen Wachstumsbedingungen und Veränderungen bei thermischer Nachbehandlung.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Bibliographie
Englisch
Tilsch, Markus ; Scheuer, V. ; Biersack, ; Tschudi, Theo (1996)
3D simulation of thin film growth conditions at ion beam sputter deposition and comparison to experimental investigations.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie